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中心設備

Load-Pull 分析儀

110G網路分析儀

 

直流探針卡

50G網路分析儀和直流量測系統

 

1000倍光學顯微鏡

化合物半導體無塵室

 

原子層沉積系統

晶圓切割器

 

化學酸鹼處理槽

光阻塗佈機

 

高溫氮氣烤箱

高溫爐管

 

微影曝光機

化合物半導體高溫退火爐

 

反應式離子蝕刻機

銅電鍍槽

 

電子束蒸鍍設備

氧化物用電子束蒸鍍設備

 

覆晶技術用之金鎳電鍍槽

 

 

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